Contamination trace métallique

Quelle est la propreté de vos joints d’étanchéité et de vos joints toriques ?

Quelle est la teneur en traces métalliques des matériaux élastomères situés à des endroits critiques de l’outil de votre procédé ?

Les contaminations aux particules et aux ions métalliques constituent une menace constante pour la fabrication de dispositifs avec des semi-conducteurs. Plus le dispositif est petit, plus le potentiel de nuisance et les coûts sont élevés à mesure que le niveau de contamination permis diminue.

Lors du choix des joints en élastomère pour des applications critiques, les fabricants de dispositifs doivent s’assurer qu’ils choisissent les matériaux adaptés ayant des niveaux de traces métalliques extrêmement faibles, afin d’éviter toute contamination et dégradation du dispositif.

Analyse de la teneur en traces métalliques

22 matériaux élastomères différents, provenant de différents fabricants ou fournisseurs et commercialisés spécifiquement pour les applications de semi-conducteurs, ont été analysés dans un centre de tests externe spécialisé pour connaître la teneur en traces métalliques. La technique d’analyse a utilisé la spectroscopie de masse avec plasma inductif couplé (ICP-MS) pour déterminer les impuretés métalliques dont la teneur est faible et très faible, jusqu’à des teneurs de parties par milliard (ppb).Les impuretés métalliques telles que le sodium (Na), le calcium (Ca), le potassium (K), le magnésium (Mg), le titanium (Ti) et bien d’autres ont été mesurées et comparées.

Alors, quels étaient les matériaux élastomères les plus propres ?

Vous souhaitez en savoir plus ?Téléchargez les résultats ci-dessous.

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