Precision Polymer Engineering (PPE), l’un des principaux fabricants dans le monde de joints et de joints toriques en élastomères moulés à haute performance, lancera deux nouveaux matériaux lors du SEMICON West 2017 cette semaine.
Les nouveaux matériaux, Perlast® G65HP et Perlast® G67G, sont des perfluoroélastomères (FFKM) formulés pour présenter de faibles taux d’érosion au plasma et une augmentation de la durée de vie des joints en générant un minimum de particules. Suite à des tests complets utilisant différentes chimies et sources de plasma, le résultat montre que les nouveaux matériaux sont plus performants que leurs concurrents les plus proches, avec une réduction de 30 % des taux d’érosion dans certains cas.
Les deux matériaux présentent une faible teneur en traces métalliques, ce qui réduit le risque de baisse de rendement et de défaillances pendant la garantie. De plus, la qualité Perlast® G67G incorpore de faibles niveaux de renforts de nanoparticules avancés, ce qui signifie qu’il est peu probable d’avoir une agglomération de particules ou une contamination importante avec des particules
PPE a développé de nouveaux matériaux très purs permettant de répondre aux besoins des applications critiques dans lesquelles les joints sont en contact direct avec le processus chimique du procédé. Ils doivent présenter une durée de vie plus longue compatible avec les cycles de maintenance existants, ce qui augmente potentiellement la disponibilité de l’outil du procédé, entraînant ainsi une baisse du coût global des consommables.
Perlast® G65HP a une formulation organique unique développée spécifiquement pour les procédés critiques des semi-conducteurs où les joints sont directement en contact avec le plasma. Cette nouvelle qualité de matériau présente une excellente résistance au plasma lorsque celui-ci est très concentré en radicaux de fluor et dans d'autres chimies de plasma. Avec une structure 100 % organique, Perlast® G65HP minimise le risque de formation de particules, entraînant ainsi un allongement des cycles de maintenance. En outre, avec moins de 10 000 parties par milliard de traces métalliques, ce matériau est idéal pour les fabricants de dispositifs de pointe et pour les fabricants souhaitant garantir une intégrité des spécifications électriques du dispositif et le moins possible de défaillances.
Perlast® G67G a été formulé pour offrir une excellente résistance aux plasmas agressifs à base d’oxygène, de chlore et de fluor. Avec une excellente résistance thermique et mécanique et une faible génération de particules, le Perlast® G67G est idéalement adapté aux procédés de gravure humide et sèche, de décapage, de nettoyage et de PVD.
La production de semi-conducteurs crée certains des environnements les plus agressifs rencontrés par les joints et les fabricants d’origine font continuellement des efforts délibérés pour s’approvisionner en matériaux d’étanchéité plus avancés. Avec le G65HP et le G67G, PPE a développé deux matériaux d’étanchéité élastomères ayant un renfort de nanoparticules résistant au plasma, chacun fournissant une solution d’étanchéité unique et optimisée pour le procédé pour les applications des semi-conducteurs. Les matériaux ont été largement testés et comparés aux matériaux leaders du marché, dans plusieurs chimies de plasma les plus habituelles.Les résultats montrent que les nouveaux matériaux présentent une meilleure performance.
Commentant le lancement des nouveaux matériaux, Dr Murat Gulcur, chef de produit pour les semi-conducteurs chez PPE, a déclaré : « PPE s’engage dans le développement de qualités de matériaux pour les semi-conducteurs de plus en plus résistants afin d’aider ses clients à résoudre leurs problèmes d’étanchéité principalement associés à la miniaturisation du marché des puces dans un éventail d’applications critiques. Les chimies de plasma agressives ont toujours été un problème majeur pour nos clients. Grâce à des essais approfondis et au lancement ultérieur de Perlast® G65HP et de Perlast® G67G, nous croyons que nous pouvons proposer à nos clients une performance leader sur le marché par rapport à celle de toutes les autres technologies d’étanchéité en élastomères dans les mêmes conditions et également des réductions de coûts significatives. »
PPE sera présent au salon SEMICON West 2017 à San Francisco du 11 au 13 juillet. Venez rencontrez notre équipe au stand N°6668 pour découvrir notre gamme complète de matériaux d’étanchéité et pour discuter de l’avantage compétitif que peut apporter un partenariat avec PPE.
Pour avoir de plus amples informations sur ce que peut apporter PPE au secteur des semi-conducteurs, contacter un membre de notre équipe commerciale au +44 (0)1254 295400, consulter son site internet fr.prepol.com ou envoyez un e-mail à [email protected]
~FINS~