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Tiroirs Monovat

Les tiroirsMONOVAT® équipés de joints élastomères Perlast®, Kimura® et Nanofluor® améliorent la performance

Les tiroirs MONOVAT® sont largement utilisés sur les plates-formes d’outils de semi-conducteur. Les tiroirs MONOVAT® utilisant les élastomères uniques de PPE Perlast®Kimura® et Nanofluor® pour les semi-conducteurs réduisent la formation de particules, améliorent le rendement et réduisent le coût de possession.

Caractéristiques des tiroirs MONOVAT® utilisant les matériaux de PPE :

  • Disponibles en différents profils et dimensions pour diverses plates-formes de production de semi-conducteurs.
  • Une large gamme de profils de joints permettant de réduire les contraintes localisées, améliorant la performance et la durée de vie du joint
  • Résistance chimique et aux plasmas la plus élevée
  • Les élastomères ultras purs minimisent la formation de particules dans des environnements de production

Étude de cas : Perlast® G67P sur MONOVAT® a multiplié par 3 le rendement des plaquettes

Un important fabricant de semi-conducteurs en Asie avait des problèmes de contamination et de faible rendement de plaquette dans un procédé CVD à faible K sur un outil Producer®. Les tiroirs dynamiques MONOVAT® étaient dotés d’un matériau FFKM traditionnel blanc et devaient être remplacés toutes les 15 000 à 30 000 plaquettes.

Depuis qu’il utilise les tiroirs MONOVAT® dotés du Perlast® G67P, ce fabricant de puces atteint un rendement de plus de 90 000 plaquettes, ce qui représente une économie considérable. Cela reflète la composition ultra pure du matériau, la résistance chimique supérieure et les propriétés mécaniques exceptionnelles des matériaux Perlast®.

Comment pouvons-nous vous aider ? Contactez-nous avec vos besoins en matière de tiroir MONOVAT.

MonoVat® est une marque déposée de VAT Vakuumventile AG.

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