Dans la fabrication de semi-conducteurs, la contamination par des particules tout au long du processus constitue une menace importante pour le rendement et donc la rentabilité. Il ne s’agit pas seulement de limiter le nombre total de particules. En effet, la taille des particules peut également être un facteur critique.
Les technologies de fabrication clés comprennent les processus sous vide tels que la gravure sèche et le dépôt, qui nécessitent tous des joints en élastomère pour maintenir l'intégrité du vide. Les joints d'étanchéité situés dans des endroits critiques (en contact direct avec le procédé et relativement proches du substrat en cours de traitement) sont souvent exposés à des produits chimiques extrêmement agressifs et à des températures variables. Le sceau doit être compatible avec la période de maintenance de l'outil et ne doit pas être un facteur limitant lors de la détermination d'une intervention mécanique ou d'un temps d'arrêt supplémentaire exigeant en main-d'œuvre. En outre, le joint ne devrait pas contribuer à la perte de rendement, quels que soient les sous-produits de l'érosion pouvant être formés.
Le choix des matériaux d'étanchéité disponibles pour les utilisateurs finaux peut être déconcertant. Sans le luxe d'avoir des chambres de test ou des équipements de production dédiés à tester une multitude de matériaux de joint dans les diverses applications, le choix devient potentiellement risqué, ce qui implique de changer et de faire fonctionner un produit vivant à l'aide d'un nouveau joint. L’effort doit donc être récompensé par une économie de coût adaptée au risque ou aux ressources nécessaires pour effectuer un tel test.
Afin de réduire considérablement le risque de choix de joint incorrect, pouvant conduire à un produit mis au rebut ou à un gaspillage de ressources de test, une étude approfondie a été réalisée pour comparer les matériaux de joint des principaux fournisseurs de joints toriques en élastomère. La création et la maintenance d'une telle base de données permettent de réduire considérablement les risques liés à la modification d'un matériau de scellement afin de réduire les CdC et d'accroître la rentabilité ou la compétitivité.
Découvrez comment les matériaux d'étanchéité en élastomère peuvent se comporter dans différentes conditions de plasma et de gaz.Découvrez l’importance des différents types de charge et de la dispersion des particules de charge dans les matériaux élastomères.Découvrez des solutions pour minimiser la particularisation/contamination causée par les joints en élastomère.Comprendre le rapport coût/performance entre les élastomères perfluorés (FFKM) et les fluoroélastomères (FKM).